X射線(xiàn)熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無(wú)標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。
  X射線(xiàn)熒光光譜儀工作原理介紹
用X射線(xiàn)照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(cháng)的熒光X射線(xiàn)，需要把混合的X射線(xiàn)按波長(cháng)（或能量）分開(kāi)，分別測量不同波長(cháng)（或能量）的X射線(xiàn)的強度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線(xiàn)熒光光譜儀。由于X光具有一定波長(cháng)，同時(shí)又有一定能量，因此，X射線(xiàn)熒光光譜儀有兩種基本類(lèi)型：波長(cháng)色散型和能量色散型。下是這兩類(lèi)儀器的原理圖。
    用X射線(xiàn)照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(cháng)的熒光X射線(xiàn)，需要把混合的X射線(xiàn)按波長(cháng)（或能量）分開(kāi)，分別測量不同波長(cháng)（或能量）的X射線(xiàn)的強度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線(xiàn)熒光光譜儀。由于X光具有一定波長(cháng)，同時(shí)又有一定能量，因此，X射線(xiàn)熒光光譜儀有兩種基本類(lèi)型：波長(cháng)色散型和能量色散型。下圖是這兩類(lèi)儀器的原理圖。
  X射線(xiàn)熒光光譜儀分析的一般步驟是：選擇分析方法，樣品制備，儀器參數選擇與校準曲線(xiàn)的制作，試樣分析。
　　SuperQ是Axios系列X 射線(xiàn)熒光光譜分析儀的主操作軟件，控制光譜儀的運行和定性定量分析數據的處理。SuperQ先匯編各測量參數，再依次檢查光學(xué)電學(xué)條件、校正系數，zui后自動(dòng)匯編建成定性或定量分析測量程序。
　　Omnian以全程掃描為定性分析的基礎，用13個(gè)合成的參考樣品建立掃描程序獲得的測量強度，以此作為定量分析的依據；適用于分析范圍很寬的固體、粉末和液體試樣的快速無(wú)標樣近似定量（半定量）分析。