X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測系統構成。X射線(xiàn)管產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線(xiàn)），探測器對X熒光進(jìn)行檢測。近年來(lái)X熒光光譜儀在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域中不斷拓展，已經(jīng)為廣泛應用于治金、地質(zhì)、環(huán)保、建材等領(lǐng)域中。
X熒光光譜儀的優(yōu)缺點(diǎn)：
1、優(yōu)點(diǎn)
a) 分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)關(guān)系（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為顯著(zhù)。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體等都可以進(jìn)行分析。
2、缺點(diǎn)
a）難于作分析，所以定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
