X熒光光譜儀技術(shù)已成功應用于環(huán)境、食物鏈、動(dòng)植物、農產(chǎn)品、人體組織細胞及器官、生物醫學(xué)材料、組織細胞、醫學(xué)試劑、動(dòng)植物器官、代謝產(chǎn)物中的無(wú)機元素測定。

X熒光光譜儀可對固體、粉末、液體、懸浮物、過(guò)濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進(jìn)行定性、定量分析，元素范圍13Al-92U，含量范圍ppb至100%，檢出限到2pg。
X熒光光譜儀是一種波長(cháng)較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線(xiàn)光譜儀與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線(xiàn)熒光光譜儀是由物質(zhì)中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過(guò)側里和分析樣品產(chǎn)生的x射線(xiàn)熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質(zhì)成分的定性和定量信息。
X熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)
a) 分析速度高。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為顯著(zhù)。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。