功能：

　　能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀是基于X射線(xiàn)的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態(tài)，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長(cháng)，對應的即是特征的能量，通過(guò)對光子的特征波長(cháng)進(jìn)行辨識，能實(shí)現對元素的定性分析，通過(guò)探測特征波長(cháng)的X射線(xiàn)光子的強度，實(shí)現元素的定量和半定量分析。

 

　　基本原理

　　當能量高于原子內層電子結合能的高能X射線(xiàn)與原子發(fā)射碰撞時(shí)，驅逐出一個(gè)內層電子而出現一個(gè)空穴，使整個(gè)原子體系處于不穩定的激發(fā)態(tài)，然后原子體系會(huì )由激發(fā)態(tài)自發(fā)的躍遷到能量低的狀態(tài)，這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為弛豫過(guò)程。弛豫過(guò)程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時(shí)，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級光電子，此稱(chēng)為俄歇效應，亦稱(chēng)次級光電效應或無(wú)輻射效應，所逐出的次級光電子稱(chēng)為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無(wú)關(guān)。當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不在原子內被吸收，而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生X射線(xiàn)熒光。X射線(xiàn)熒光的能量或波長(cháng)是特征性的，與元素有一一對應的關(guān)系。