X熒光光譜儀XRF采用兩種分光技術(shù)，一是通過(guò)分光晶體對不同波長(cháng)的X-熒光進(jìn)行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長(cháng)處X-熒光強度，這項技術(shù)稱(chēng)為波長(cháng)色散光譜。另一項技術(shù)是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過(guò)探測器轉變成電脈沖信號，經(jīng)前置放大后，用多道脈沖高度分析器進(jìn)行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡(jiǎn)稱(chēng)X-熒光能譜。
X熒光光譜儀XRF的特征譜線(xiàn)的產(chǎn)生是基于不同的機理：
a）入射X射線(xiàn)轟擊原子的內層電子，如果能量大于它的吸收邊，該內層電子被驅逐出整個(gè)原子（整個(gè)原子處于高能態(tài)，即激發(fā)態(tài)）。
b）較高能級的電子躍遷，補充空穴，整個(gè)原子回到低能態(tài)，即基態(tài)。
c）由高能態(tài)轉化為低能態(tài)，釋放能量。
d）能量如果以X射線(xiàn)的形式釋放，則會(huì )產(chǎn)生X射線(xiàn)熒光。
主要特點(diǎn)：
無(wú)需前處理，非破環(huán)性，快速分析。
準確的定性分析；元素測定范圍寬。
定量分析，根據不同元素。
可以替代傳統的ICP測試方法。
配置新型濾光片，提高Pb、Cd等的靈敏度提高2倍。
配置高計數率電路，增加檢測器的計數量，計數率為3000~12000CPS。
增加時(shí)間縮短功能，由熒光X射線(xiàn)強度算出測定精度，自動(dòng)判斷所需較少測定時(shí)間。
增加自動(dòng)工作曲線(xiàn)選擇功能，依據識別樣品種類(lèi)的不同而選擇適宜的工作曲線(xiàn)。
