波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀是利用原級X射線(xiàn)或其他光子源激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線(xiàn)），從而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器，主要用于化學(xué)、材料科學(xué)、化學(xué)工程領(lǐng)域。

 

波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜儀的原理：

 

XRF是基于X射線(xiàn)的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能，將該軌道電子逐出，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態(tài)，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長(cháng)，對應的即是特征的能量，通過(guò)對光子的特征波長(cháng)進(jìn)行辨識，XRF能實(shí)現對元素的定性分析，通過(guò)探測特征波長(cháng)的X射線(xiàn)光子的強度，實(shí)現元素的定量和半定量分析。

 

具有以下優(yōu)點(diǎn)：

 

1、分析速度高。測定用的時(shí)間與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

 

2、X射線(xiàn)熒光光譜儀跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。大多數分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為顯著(zhù)。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定。

 

3、非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

 

4、X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

 

5、分析精密度高。

 

6、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。