X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線(xiàn)管）和探測系統構成。X射線(xiàn)管產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），激發(fā)被測樣品，產(chǎn)生X熒光（二次X射線(xiàn)），探測器對X熒光進(jìn)行檢測。

 

X射線(xiàn)熒光光譜儀的核心結構為激發(fā)源和探測器，其中，激發(fā)源是激發(fā)元素產(chǎn)生特征X射線(xiàn)的構件，有帶電粒子激發(fā)、電磁輻射激發(fā)、內轉換現象和核衰變等方式，而常用的激發(fā)源是電磁輻射激發(fā)，探測器是將X射線(xiàn)熒光的能量和強度轉化成一定形狀和數量的電脈沖，實(shí)質(zhì)上就是一個(gè)能量→電量的傳感器，常用的探測器有正比計數器、閃爍計數器和半導體計數器。

 

優(yōu)點(diǎn)有哪些？

 

1)分析時(shí)間短。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

 

2)適用范圍廣。X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為顯著(zhù)。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。

 

3)非破壞分析，重現性好。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

 

4)X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

 

5)分析精密度高。

 

6)制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。