1、一束帶有足夠能量的x射線打在樣品表面原子殼內(nèi)層的電子上，這個(gè)波長色散X射線熒光光譜儀內(nèi)的x射線管產(chǎn)生的，這個(gè)波長色散X射線熒光光譜儀前底端射出。

 

2、x射線束打在樣品表面的原子殼上，電子被激發(fā)后從原子殼內(nèi)層軌道發(fā)生位移，這種位移的發(fā)生是由于從分析儀發(fā)出的x-射線束與在適當(dāng)?shù)能壍辣３蛛娮咏Y(jié)合能發(fā)出的能量差；當(dāng)x射線束的能量高于電子結(jié)合能就會發(fā)生位移。

當(dāng)電子撞出軌道，他們留下的空位，使原子不穩(wěn)定。原子必須立即被填充來糾正這個(gè)不穩(wěn)定，這些空位可以由更高的軌道上的電子移動(dòng)到一個(gè)較低的軌道。

 

4、離原子核越遠(yuǎn)的電子，逃逸的能量越高。因此，當(dāng)電子從較高電子層到靠近原子核的電子層時(shí)，要損失一些能量。損失的能量數(shù)與兩個(gè)電子層間的能量差相等，由兩個(gè)電子層的距離決定。對每個(gè)元素來說，兩個(gè)軌道間的距離是*的，如上所述。

 

5、根據(jù)能量損失可以識別這個(gè)元素，對每種元素而言，在x熒光過程中能量損失數(shù)是*的。樣品中檢測到個(gè)別熒光能量是特定的，為了確定每個(gè)存在元素的數(shù)量，個(gè)別能量出現(xiàn)的比例可以通過儀器計(jì)算出來，或用其它軟件。

整個(gè)熒光過程發(fā)生在一瞬間。利用這個(gè)過程，使用波長色散X射線熒光光譜儀可在幾秒鐘完成。測量實(shí)際所需的時(shí)間取決于樣品的性質(zhì)和含量水平。高比例的需要幾秒，而水平的可能要花費(fèi)幾分鐘。