X射線熒光光譜儀已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。
X射線熒光光譜儀的功能：
XRF是基于X射線的一種分析手段，當(dāng)一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復(fù)到平衡態(tài)，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。
X熒光具有特征的波長，對應(yīng)的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，XRF能實現(xiàn)對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現(xiàn)元素的定量和半定量分析。
X射線熒光光譜儀應(yīng)用：
固體樣品中元素的定性、定量、半定量分析。固體樣品類型包括塊狀固體、小顆粒小配件、薄膜、粉末、濾膜等。常見的XRF譜儀分為波長色散型和能量色散型，兩者具有不同的分析范圍和分析特點。
本中心安裝的儀器為波長色散型XRF，為波長色散XRF元素分析周期表，可分析元素從4號Be元素至95號Am元素，特定的輕元素分析需要配備相應(yīng)的分光晶體。表1為幾種常見的無機材料元素分析手段對比。
