一是X射線光管，X射線光管由陰極燈絲和陽極靶組成，燈絲通電流后會放出熱電子，在陰極燈絲和陽極靶之間加一個20～60kV的高壓，電子在高壓作用下加速撞擊陽極靶。陽極靶由金屬組成，常用的材料有Rh、Mo、Cr。加速電子撞擊陽極靶，與靶金屬中的電子相互作用并以X射線光子的形式釋放部分能量，這些X射線光子就是激發(fā)源。

 

　　二是分光系統(tǒng)，X射線光管產(chǎn)生的X射線激發(fā)源照射到被測樣品上，激發(fā)出樣品中各個元素的各條特征譜線，穿過準(zhǔn)直器后以平行光入射到分光晶體上。分光晶體利用X射線的衍射特性，將不同波長的X射線分開到不同的衍射角度。

 

　　三是探測系統(tǒng)，探測器接收經(jīng)過分光以后某一波長的X射線光子，將光子信號轉(zhuǎn)換為電信號，獲得強(qiáng)度值。探測器包括流氣計(jì)數(shù)器（正比計(jì)數(shù)器）和閃爍計(jì)數(shù)器，流氣計(jì)數(shù)器用于探測輕元素的X射線熒光，閃爍計(jì)數(shù)器用于探測重元素的X射線熒光。

 

　　波長色散X射線熒光光譜儀的性能特點(diǎn)：

　　1.特殊光路系統(tǒng)

　　采用特殊的光路系統(tǒng)，可滿足不同基體中痕量元素的測量，提高信噪比，降低檢出限。

 

　　2.400W大功率X光源

　　400W大功率光源使難以激發(fā)的痕量元素獲得更高的計(jì)數(shù)率，比普通EDXRF儀器的元素檢出限降低一個數(shù)量級，更加適合痕量元素的檢測。

 

　　3.數(shù)字多道技術(shù)

　　采用數(shù)字多道技術(shù)，儀器可探測的計(jì)數(shù)率可高至100kcps,提高了儀器的測量精度,縮短了測量時間。

 

　　4.油冷散熱系統(tǒng)

　　油冷散熱系統(tǒng)，保證了大功率X光源的散熱，使儀器的運(yùn)行更加穩(wěn)定。

 

　　5.光閘系統(tǒng)

　　光閘系統(tǒng)，保證X光源的穩(wěn)定性，同時提升X光管使用壽命。

 

　　6.抽真空系統(tǒng)

　　抽真空系統(tǒng)，可以滿足輕元素的測量。

 

　　7.自動進(jìn)樣系統(tǒng)

　　自動進(jìn)樣系統(tǒng)，可以一次連續(xù)檢測十二個樣品，大大提高了測試人員的工作效率。