天瑞X射線(xiàn)熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進(jìn)行快速同時(shí)測定的儀器。在X射線(xiàn)激發(fā)下，被測元素原子的內層電子發(fā)生能級躍遷而發(fā)出次級X射線(xiàn)。波長(cháng)和能量是從不同的角度來(lái)觀(guān)察描述X射線(xiàn)所采用的兩個(gè)物理量。是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過(guò)衍射的特征X射線(xiàn)信號。如果分光晶體和控測器作同步運動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產(chǎn)生的特征X射線(xiàn)的波長(cháng)及各個(gè)波長(cháng)X射線(xiàn)的強度，可以據此進(jìn)行定性和定量分析。