X射線(xiàn)熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素到鈾元素都可以利用這種技術(shù)進(jìn)行檢測分析。但是對于原子序數較低的元素，空氣會(huì )對檢測結果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì )吸收低原子序數元素的能量輻射。
X射線(xiàn)熒光光譜儀主要由以下幾部分組成：
?。?）激發(fā)系統：主要部件為X射線(xiàn)管，可以發(fā)出原級X射線(xiàn)，用于照射樣品激發(fā)熒光X射線(xiàn)；
?。?）分光系統：對來(lái)自樣品待測元素發(fā)出的特征熒光X射線(xiàn)進(jìn)行分辨；
?。?）探測系統：對樣品待測元素的特征熒光X射線(xiàn)進(jìn)行強度探測；
?。?）儀器控制和數據處理系統：處理探測器信號，給出分析結果。
X射線(xiàn)熒光光譜儀的測試步驟：
?。?）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數法、半基本參數法、經(jīng)驗系數法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數法測試。
?。?）將制備好的樣片裝進(jìn)樣品杯，放入樣品交換器中，自動(dòng)進(jìn)樣至樣品室，X射線(xiàn)管發(fā)出原級X射線(xiàn)照射樣品，激發(fā)出待測元素的熒光X射線(xiàn)。
?。?）樣品輻射出的熒光X射線(xiàn)通過(guò)分光晶體，將X射線(xiàn)熒光光譜色散成孤立的單色分析線(xiàn)，由探測器測量各譜線(xiàn)的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。
