能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀是一種快速、無(wú)損、多元素同時(shí)測定的現代測試分析技術(shù)，已廣泛應用于材料科學(xué)、生物醫學(xué)、地質(zhì)研究、環(huán)境監測、天體物理、文物考古等諸多領(lǐng)域。它較大一個(gè)特點(diǎn)就是對樣品進(jìn)行定性、定量分析時(shí)不用制樣，可選擇整個(gè)或取樣品部分殘片顆粒，也可以將樣品研磨成粉末等來(lái)進(jìn)行X射線(xiàn)熒光分析，對測試分析樣品大小要求較低，在一定范圍內樣品可大可小，因此對于一般的考古完整器都能直接進(jìn)行分析，更大地避免了在對較大的珍貴古陶瓷等文物進(jìn)行科學(xué)分析研究的同時(shí)對其產(chǎn)生的破壞。
能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀原理就是：
X射線(xiàn)管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線(xiàn)（一次X射線(xiàn)），來(lái)激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì )放射出二次X射線(xiàn)，并且不同的元素所放射出的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性或波長(cháng)特性。探測系統測量這些放射出來(lái)的二次X射線(xiàn)的能量及數量或者波長(cháng)。
然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類(lèi)及含量。元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(cháng)的X射線(xiàn)，因此，只要測出熒光X射線(xiàn)的波長(cháng)或者能量，就可以知道元素的種類(lèi)，這就是熒光X射線(xiàn)定性分析的基礎。
此外，熒光X射線(xiàn)的強度與相應元素的含量有一定的關(guān)系，據此，可以進(jìn)行元素定量分析。
用X射線(xiàn)照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(cháng)的熒光X射線(xiàn)，需要把混合的X射線(xiàn)按波長(cháng)（或能量）分開(kāi)，分別測量不同波長(cháng)（或能量）的X射線(xiàn)的強度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。由于X熒光具有一定波長(cháng)，同時(shí)又有一定能量，因此，有兩種基本類(lèi)型：波長(cháng)色散型和能量色散型。
能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀的工作原則：
所有光譜儀的基本概念是輻射源、樣品和檢測系統。在光譜儀中，X射線(xiàn)管作為光源直接照射樣品，樣品發(fā)出的熒光由能量色散探測器測量。探測器可以直接從樣品中測量不同能量的特征輻射。檢測器可以將來(lái)自樣品的輻射分離成來(lái)自樣品中不同元素的輻射。這種分離稱(chēng)為分散。
