原子熒光光譜法是通過(guò)測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發(fā)下產(chǎn)生的熒光發(fā)射強度，來(lái)確定待測元素含量的方法。原子熒光光譜儀就是利用該方法進(jìn)行測量元素的原子蒸氣在輻射能激發(fā)下所發(fā)射的熒光強度，以測定物質(zhì)成分中元素含量的儀器。

原子熒光是原子蒸氣受具有特征波長(cháng)的光源照射后，其中一些自由原子被激發(fā)躍遷到較高能態(tài)，然后去活化回到某一較低能態(tài)（常常是基態(tài)）而發(fā)射出特征光譜的物理現象。各種元素都有其特定的原子熒光光譜，根據原子熒光強度的高低可測得試樣中待測元素的含量。原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射光譜兩種技術(shù)的優(yōu)勢，克服了單一技術(shù)在某些方面的缺點(diǎn)，對一些元素具有分析靈敏度高、干擾少、線(xiàn)性范圍寬、可多元素同時(shí)分析等特點(diǎn)。