X射線(xiàn)熒光光譜儀是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。
 
與所有的分析儀器一樣，在做出購買(mǎi)決定前應當考慮許多因素，例如應用領(lǐng)域等細節。所以，本文將著(zhù)重討論在選擇一套用于測量薄層材料厚度的X射線(xiàn)熒光光譜儀體系時(shí)應當考慮的一些重要因素，討論的對象主要為能量色散X射線(xiàn)熒光光譜儀體系（EDXRF），這種體系如今已經(jīng)具有許多不同的配置規格，既有臺式配置的，又有便攜的、手持式配置的。
X射線(xiàn)熒光光譜儀故障現象：計數率不穩定。
熒光光譜儀故障分析：
X射線(xiàn)熒光光譜儀的常用探測器有二個(gè)：流氣計數器和閃爍計數器。閃爍計數器很穩定，問(wèn)題常出現在流氣計數器上。
流氣計數器窗膜由一塊聚酯薄膜、hostaphan膜或聚丙烯薄膜鍍上一層很?。s30nm）的鋁膜所構成，由于窗膜承受大氣壓力，一段時(shí)間后隨著(zhù)基體材料的延展，鋁膜可能產(chǎn)生裂紋，從而減弱導電性能，這種情況對脈沖高度分布影響不大，但會(huì )使計數率不穩定。新型號的X射線(xiàn)熒光光譜儀一般都安裝1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流氣計數器的窗膜導電性能下降的可能性增大。
檢查方法：在低X射線(xiàn)光管功率情況下，選一個(gè)K Kα計數率約2000CPS的樣品，測定計數率，然后用一個(gè)鉀含量高的樣品取代原樣品，將光管調到滿(mǎn)功率，保持2分鐘，再將X射線(xiàn)光管功率減至原值，測量*個(gè)樣品，如窗膜導電正常，將得到原計數率，如窗膜導電性能變差，會(huì )發(fā)現計數率減小，然后慢慢回升至初始值，這時(shí)就應調換窗膜。