技術(shù)指標

X射線(xiàn)膜厚測試機器分析元素范圍：硫（S）～鈾（U） 
同時(shí)檢測元素：*多24個(gè)元素，多達5層鍍層
分析含量：一般為2ppm到99.9% 
鍍層厚度：一般在50μm以?xún)龋糠N材料有所不同）
SDD探測器：分辨率低至135eV
先進(jìn)的微孔準直技術(shù)：*小孔徑達0.1mm,*小光斑達0.1mm
樣品觀(guān)察：配備全景和局部?jì)蓚€(gè)工業(yè)高清攝像頭 
準直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準直器組合 
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
樣品臺尺寸：393（W）x 258 （D）mm
X/Y/Z平臺移動(dòng)速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復定位精度：小于0.1um
操作環(huán)境濕度：≤90%
操作環(huán)境溫度：15℃～30℃ 
全自動(dòng)智能控制方式，一鍵式操作!
開(kāi)機自動(dòng)自檢、復位； 
開(kāi)蓋自動(dòng)退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣； 
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動(dòng)完成對焦； 
直接點(diǎn)擊全景或局部景圖像選取測試點(diǎn)； 
點(diǎn)擊軟件界面測試按鈕，自動(dòng)完成測試并顯示結果。 
 

性能優(yōu)勢 

1.X射線(xiàn)膜厚測試機器精密的三維移動(dòng)平臺 

2.的樣品觀(guān)測系統 
3.先進(jìn)的圖像識別 
4.輕松實(shí)現深槽樣品的檢測 
5.四種微孔聚焦準直器，自動(dòng)切換 
6.雙重保護措施，實(shí)現無(wú)縫防撞 
7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度