參數規格

x射線(xiàn)膜厚測試儀X射線(xiàn)激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源

探測器及分辨率：SDD探測器，分辨率140±5eV

定位精度：0.001mm

測量時(shí)間：10s及以上

樣品平臺移動(dòng)范圍：120mm×120mm

樣品腔升降平臺移動(dòng)高度：0～150mm

主機壹臺，含下列主要部件：  

(1)微焦斑X光管                  

(2)大面積SDD電制冷半導體探測器

(3)數字多道分析器

(4)超高精度三維移動(dòng)平臺

(5)全景和局部?jì)蓚€(gè)工業(yè)高清攝像頭

(6)高低壓電源

(7)激光定位裝置及圖像自動(dòng)對焦技術(shù)

(8)開(kāi)放式樣品腔及鉛玻璃屏蔽罩

(9)電動(dòng)調節準直器

(10)防撞激光保護器

x射線(xiàn)膜厚測試儀資料：儀器使用說(shuō)明書(shū)（包括軟件操作說(shuō)明書(shū)和硬件使用說(shuō)明書(shū)）、出廠(chǎng)檢驗合格證明、裝箱單、保修單及其它應提供資料各一份。

標準附件

準直孔：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種（已內置于儀器中）