藝慈 X射線(xiàn)鍍層膜厚儀技術(shù)指標

X射線(xiàn)激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源
探測器及分辨率：SDD探測器，分辨率140±5eV
分析元素范圍：原子序數16（S）～92（U）
分析元素及層數：一次可同時(shí)分析多達24種元素及5層鍍層
分析厚度范圍：檢測覆蓋層厚度一般在50μm以?xún)?/span>
檢出限：鍍層金屬元素厚度薄可達0.005μm
定位精度：0.001mm
測量時(shí)間：10s及以上
樣品平臺移動(dòng)范圍：120mm×120mm
樣品腔升降平臺移動(dòng)高度：0～150mm
工作環(huán)境要求
工作電源：交流220±5V
周?chē)荒苡袕婋姶鸥蓴_
環(huán)境溫度要求：15℃～30℃
環(huán)境相對濕度：<70%

藝慈 X射線(xiàn)鍍層膜厚儀性能優(yōu)勢

1.精密的三維移動(dòng)平臺

2.的樣品觀(guān)測系統

3.先進(jìn)的圖像識別

4.輕松實(shí)現深槽樣品的檢測

5.四種微孔聚焦準直器，自動(dòng)切換

6.雙重保護措施，實(shí)現無(wú)縫防撞

7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度

全自動(dòng)智能控制方式，一鍵式操作!

開(kāi)機自動(dòng)自檢、復位；

開(kāi)蓋自動(dòng)退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣；

關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動(dòng)完成對焦；