X熒光光譜儀根據各元素的特征X射線(xiàn)的強度，可以測定元素含量。

 

XRF工作原理是X射線(xiàn)光管發(fā)出的初級X射線(xiàn)激發(fā)樣品中的原子，產(chǎn)生特征X射線(xiàn)，通過(guò)分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線(xiàn)波長(cháng)（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。

 

X熒光光譜儀的優(yōu)缺點(diǎn)介紹：

 

優(yōu)點(diǎn)：

a) 分析速度快。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。

b) X射線(xiàn)熒光光譜跟樣品的化學(xué)結合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長(cháng)變化等現象。特別是在超軟X射線(xiàn)范圍內，這種效應更為顯著(zhù)。波長(cháng)變化用于化學(xué)位的測定 。

c) 非破壞分析。在測定中不會(huì )引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì )出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

d) X射線(xiàn)熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

e) 分析精密度高。含量測定已經(jīng)達到ppm級別。

f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

 

缺點(diǎn)：

a） 定量分析需要標樣。

b）對輕元素的靈敏度要低一些。

c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。