X射線(xiàn)熒光光譜儀作為一種比較分析技術(shù)，在一定的條件下，利用初級X射線(xiàn)光子或其他微觀(guān)粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線(xiàn)）而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器。

 

按激發(fā)、色散和探測方法的不同，分為：

X射線(xiàn)光譜法（波長(cháng)色散）

X射線(xiàn)能譜法（能量色散）

 

波長(cháng)色散X射線(xiàn)熒光光譜技術(shù)是一種通過(guò)測量小波長(cháng)范圍內的特征X射線(xiàn)來(lái)獲取有關(guān)材料的一系列元素信息的無(wú)損分析技術(shù)，主要應用于應用于催化劑、水泥、食品、金屬、礦物樣品、石油、塑料、半導體和木材的成分分析。

 

使用高能量電子束照射固體或液體樣品，當樣品中的一個(gè)原子或離子受到足夠能量（大于原子的 K 或 L 殼層結合能）的X射線(xiàn)撞擊時(shí)，內層電子從原子或離子的內軌道上撞出時(shí)，原子或離子內部產(chǎn)生空隙，來(lái)自更高軌道（高能量軌道）的外層電子釋放能量并下降以取代脫離的內層電子填充內軌道中留下的空隙。

 

在這個(gè)過(guò)程中外層電子需要通過(guò)釋放能量下降到較低的能量狀態(tài)以進(jìn)入內軌道，而外層電子所釋放的能量輻射就是X射線(xiàn)。兩個(gè)軌道之間的能量差異是原子或離子的電子構型的特征，可用于識別原子或離子。